透镜的研发成功只是第一步。光
度极大,但刻机的制造难虎一共有四条。第主要的拦路
一是米级,需要达到0,绝大多数精密精度要求极高制造的加工精造精度最少也是微米级零件,要求的制部件要求精度达到亚微,一台光刻机数万个纳米~2极少数超高精密零部件0米。这度00纳
样高的精度,以国内现行的加工技术,根本人做不到。
出,八级力有时而穷十年技米级,精度仅能达到亚微有00微米的极高精就算秉持着精度只工的手工打磨最高磨一剑的精神,也磨不密零件。不
件的加工要求超高精密零部。过对、铣床、磨床米的水平,完全的自动度一百多纳验工厂新研发等一系列加工设备,达到了个别车床已经不是问题。实于钢铁城来说,这均达到了最高精
。第度的透镜第二个是高透光
刻机的行动部件。三个拦路虎,则是光
激光光源。芯最后一个,就是短波
,而移动速度,又决变光刻聚焦,对光刻胶控制部件优劣,直接定了产率,核心的子系统。要进行刻蚀。它的运动光刻,是通过工来改可以说是光刻机最了光刻的精度片决定作台的移动,
的对焦调整,工作移动。实常小,最好是一个纳台的最小保证最佳米一个纳米移动距离必须非
度。样的精当然达不到这际制作中
动距离实际刻机为例,它的最小移以飞利浦最新款的光线宽达到了三百五十纳米。其果,最小它的光刻效只有300纳米。加上光源波长,
也别也差距不大。他厂商差不多是同一水平,有区
力。就这是当的光刻机制程能前国际最先进
,一代产品。所谓一代设备
器,采。米线理用的就是350纳宽的制程工艺最新的奔腾22处
样?”:“你们这边进度怎么,对李莲道白云天进入到实验室
了他一个笑脸。她莲给利!”李“非常顺
动部件。带领中最重要的就是运的小组,负台子系统,其责制造光刻机最关键的工作
悬浮为了保证运动的稳定性通导导轨。轨,而是空气,移动部分不是普
不算太大。从制造难度来说,它
枪换炮的钢铁城来说没有。度,对才鸟无非是一两百纳米的加工精一点难度也
需要的产品。偏定性的影响降到最低光刻机研制高深的流体力学知识,之所以它会成为才能验算出怎样设是因为导轨设计的拦路虎,还,从而设计出满足工业作台稳用到非常计才会将气流对工需要运
天最不偏这一点,对白云构成阻碍。
史回顾》!从谁让他有《制造
科研的角度来盲人在旷野中摸索。说,这时代的其他人就好像
努力分辨前方究竟是悬崖,还是崎岖难上的沟坎、障碍攀的山峰。只他们要很小心才不会路物绊倒,然后还要高不可山路,亦或是的行
路。有通过空气流动、潺水声,他们才能花费巨大代,找到一条前进的道潺价但
死胡同,不得不又退息,告诉别人者相互交流信跟着即便如此,也许水流、空气前行,要再去尝试。还是会走入们也寻找别的途径。尽可能与其他探路路可能走得通,某条路在这个过程中,他某条是死路,让他们不回到起点,重新
都人类文明每前进一步,艰辛无比。但
白云天不同。
有着完整的认知,绝对对四面八方的道路他就如同开了全图的不会走错。决玩家,一落地,就
着怎定他前进速度的。程,而是有样的交通工具,从来不是寻路的过
。空看看美丽的风景轻松,还有他就可以用这钱去买一上骑得更偶尔快、更的钱。随后,辆自行车,在接下来的他可以一直走在步入一个岔路,在地路的道路上,正确上捡到一点不知道谁丢
是这样。其光刻机的制造就
人员,用机巨头,需要最优秀的研发,中途还要用利益跟其研发设备他光刻他重金,请才能艰难地前行人交换技术,投入,潜心研究数年最好的一步。
云天不需要。然而白他
什么在一开始,就清楚地知道自己在做样的东西,如何去做。
做出来。这,不需要试多少次,就能将东西只要自己的技术够了
不公平的对这时代的其他科研人员是但。
有公平!这世界,从来没
是永世变的至理箴言!落后就要挨打,这不
顾虑他人的感受走在自己的路上。己的目标,坚定地,他只是根据自白云天从来不需要
很容易就做了出来。、工作台透镜
,改为并且他还根了双工作台。当做了巨惯常的一个工作台据后世设计,对工作台大改动,将
地提升了光刻效率。完成光刻一个工作台正在进行光刻工序时,另。当那一个工作台进行晶工序,极大一道光刻片更换、定位、微,两个工作台换圆一个工作台则提前调、测量等前序工作位,立即就能进行下
光源部分,是唯一没有自造的。毕
竟汞灯只是光刻机光是特别大。国际市口米,其制造难度并不源,波的难度较大,很容易买到。白长统一为35纳场上的供应商很多,全面禁止对华出
自造,而是接购买了一套。通过国内,直天为了省事,也就没云
进。就是他还是做了小幅改但
纯净液体浸入中是用将目镜行一定幅度焦效果。的折射,从而达到聚的方式,对光束波长进
在后世,这叫浸入式光源。
阶段,尚未投入实用。就此既现在各大光科技技术,进厂商正在行实验室研究
改式光源又能小幅进光源聚焦有完整的技术,浸入?实然白云天手里,那又为何不用
果很好。际使用效
32纳米!的光束波长技术以后,34纳米采用了浸入式光源被约束到了
提升了近40纳米!纳米技术,使用的350比之英特尔
一被轻松攻克。天的亲自指导作台子系统、光机的制经监督下,有李莲、华新等人直,一在白云、工源等最大的技术难点接领导,光刻造进度快得惊人,透镜
员感觉如在做梦。制造工艺,一双工位,最大晶攻关——其实就是逐过两个月的技术成,顺利得让所有参与制造的技术人台步熟悉元刻蚀尺寸为200的光刻机就顺利建造完
这就做好“了?”当
试通过,是不敢相信这个实,螺丝拧电系统测,刻机通不由机研发成功,其他人还白云天宣布光刻紧,对光窃窃私语。连最后一块挡板合上事
刻机……时代最先进的光做出一台这技下料到解决一个个,再到总装,两个月就术问题,制作出子系统
这可能吗?就
止这点时间算刻机厂家,有现国内光吧。“工,做一台出来也不成图纸、熟练
没有解释。表情,笑了笑了。”白云天看着众人不行咱们试试不就知道有行
造种接受了高端制制造一台技术知识注他带着一自参与,两入的新人亲个月光刻机算什么。要
不是没有专用机床设备要得了两个月!,哪像
机的asl,一年就要卖几机出去。十上百台光刻专门制造光刻
两月一台?这
闭了!么慢的生产速度,早就破产倒
铁城当前技术极限。掩达到了钢天好了,这是白云光刻掩膜板早就做、李莲亲自动手做的,
。光非只有一个,而是一套膜并
沉积、离光刻胶,一道工序微小的改变。逐步刻蚀元器件、硅晶元基片上生成所需掉然后通过工过程,件。,可能就只有极需要加子注入等方式,在刻是个工序多达上百的连线等不同部工部位的道的漫长加
序之后,才会制造出一个整个过程是支离破电阻、电容等各种件的裸晶片都只针对一道因此、元器碎的,光刻。由工序,经由数百道工包含了所有晶体管每一次
则就会出现错位膜必须超过几个纳米。否到正确的位置,制造失败。可严格对准,误差不能,导致沉积、注入不于工序漫长,每一道工序的掩
求是多么高。从而知,掩膜版的精度要想
。点不知样的来的电路是怎道最终出星星点点的只能看到、和纵横交错的细线,根本制成的掩膜版上,众人
果。研工序如能马上就得出结不可此之长,当然
作。们也只能回到本来的宣布光刻机研发成,继人员虽然很好奇,但是研制团队解散以后,他究面交代下来的研究工天岗位续完成上工作要做,当白云他们还有别的研究功,
看着一张亮晶晶的晶工序,圆片完成最后一道放到了他们面前云天、李莲等人穿小心翼翼摆月后,白。身连套防护服,眼一个着一
这还只是裸晶片所见到的芯片。大众平常,还需要经过切割、封装,才是
云璃墙外,好奇地看着白成,闻放手头工作,聚了过来。心托得知众所期待的在手中的晶圆片。套防护服,进第一次试制完“下等级较高的研究讯的其他的人则站在玻天小连了实验室,研究人员们都人员穿上
集成电路?”什么好奇地问道。白总,这是一名实验室副主任“
!”白云天没有继一款续保密,笑呵呵地解开处理器了谜底。“
处理器!”所
到的人都眼睛一亮沉稳的然发生研究员中,竟,在这性格了小些有听小的骚动。
几位有资格进入实验室用的处理器?”那问,忍不住七嘴八舌道“难道这就是我们要研任、副主任都激动起来发的计算机,所的主。处
理器啊!国
城0520微代,就仿制了英特尔为核心,研发了成。的8080,还以此国产的长机内搞了几十年集从伐,早在七十年最开始就紧跟国外步电路,
是080也好,仿制可不管是8还是长城0520也好,都的人家设计。
可以说,在处理器一块手的成绩。所,国内就没有任何拿得出
是,设计出要研发我们自己的有有识之士都更遑然没有再大,国内依论制造了。都在呼一款自己的处理器喊声在焦虑,中国芯。可吁
器国产处理迄今为止,依然是一片空白!
到无以自制。这用钢铁城自制到白云天第一批集成的光刻机,制造出来的现在咋一听处理器,所有人都激动电路样品,就是
,这就是极大的成功!不是己设计的处理器,但能自做出来肯定
。“边那位副,这是话腾,还是48?”旁什么处理器?是奔“白总的声音都在颤抖主任,说
道。所趣都不是!”白云地耸耸肩笑天心情极好,逗
情。有人都露出失望的表
制的光刻机,能制造的奔腾处理器就已经足以让他们兴奋款的奔不已。出根本不敢奢望自腾2,能够做出早期他们最新
若是不行,48也将就。可
造出来又有什么用。48都做不出来,那这是连光刻机制
们有经验了,以做38也不错。现在我着,安慰道。,没关系后我们慢慢改进,总能将光刻机的制勉强笑梦想…造精度提上去,奔腾“也好,口一口地吃,我们现在能会有的,未来奔腾2也饭总要一…”一位副主任不是
3微米!用它造出!”枚晶片,集成度来的的,最小线宽达到了0.制的光刻机台只能制造38的光刻造一,比英特尔最新款笑道:“我亲自主持去了,欢畅地腾pr还要高五十五万晶体管是00万白云天装不下的项目,怎么可能奔机!告诉你们,我们自这
“哇!”
吧!”“不可能
竟机,线宽“我们自制的光刻然比英特尔的还要细,这怎么可能?”
室外,所他的话经由通话习一副震惊情,认为一定是说错了。他的表器,传到实验有听到的人都是
惯了在人家。亦步亦趋成电路们已经有了小跟中国人也能做出不自信,完全不敢小的自卑和达到、甚至超过欧,他相信,美的集背后
中的漏洞,立即叫芯片?“等等,白总枚处理器了白云天话,那它肯定不是奔腾p的集成度是0r,那它是什么了出来。其”有人发现0万,您刚才说这
速反应过来。白他人一听,也是迅
说比奔腾pr云天之前就说了,它的集成度为00万,这是一枚处理器芯片,然后又一筹。还超出
器!他最新款、最先进的处r就是么集成度达可是奔腾p理器了,哪还有什到00万之巨的处理
一定是在开玩笑。
怎么,又隐隐的有些遗憾。所有松,可是心中,不知道人脸上一
好啊……白是真的,那该多如果
从众人脸上一……”目光透设计的一低音量,轻声道“它当一圈,才放华芯过护目罩,然不是奔腾pr,它云天微笑着,个看过去,直到环视个是我们自行号
室内外已经一片沸腾,所有人都涨红什么没等他说完,实了脸,拼命想要说各验。
种不清对方在,谁也听声音混杂说什么。
他们用尽力气,拼命向白云手臂,想要衣服、撕扯着其天说什么。在可是没人停嘴他同僚的,
器们白云天身边还是努力相互任身体晃动,搀扶,颤声向他,一种主任、副主支撑不住的样子,可他?”询问:“白总,真是我们自己设计处理的看样子想要
笑容一敛,严肃“是!”白云天地回答道。
““这是真的?”
是真的!”
理器?”是我们的第一款国产处自己设计研发“您没骗我们,它真的
“我没骗你们!”
的严肃,一点笑容都没有。白云天表情从未有过
内研究所待了大半辈子在他身前,几个曾在国的老研究员,忽然失声痛哭起来。“
终于看到了!”终于,我
“这辈子,没白活!”“
遗憾了……”望也没有就是让够了,够了,现在我去死,
究员们渐璃墙外面吵杂的研渐安静下来。在着一种痛哭流涕的老研究员,玻
他们的脸上,同样是眼泪纵横。